Mesurador de gruix i densitat areal integrat CDM
Principis de mesura

Principis de la mesura de la densitat superficial
Mètode d'absorció de raigs X/β
Principis de mesura de gruixos
Correlació i triangulació làser
Característiques de les proves tècniques del CDM
Escenari 1: Hi ha un espai lliure/defecte de 2 mm d'amplada a la superfície de l'elèctrode i una vora és més gruixuda (línia blava com es mostra a continuació). Quan el punt del raig és de 40 mm, l'impacte de la forma de les dades originals mesurades (línia taronja com es mostra a continuació) sembla evidentment més petit.

Escenari 2: dades de perfil de l'àrea d'aprimament dinàmic amb una amplada de dades de 0,1 mm

Característiques del programari

Paràmetres tècnics
Nom | Índexs |
Velocitat d'escaneig | 0-18 m/min |
Freqüència de mostreig | Densitat superficial: 200 kHz; gruix: 50 kHz |
Rang de mesura de densitat superficial | Densitat superficial: 10~1000 g/m²; gruix: 0~3000 μm; |
Repetició de mesures precisió | Densitat superficial: Integral de 16 s: ±2σ: ≤±valor veritable * 0,2‰ o ±0,06 g/m²; ±3σ:≤±valor veritable * 0,25‰ o +0,08 g/m²; Integral de 4s: ±2σ: ≤±valor veritable * 0,4‰ o ±0,12 g/m²; ±3σ: ≤±valor veritable * 0,6‰ o ±0,18 g/m²;Gruix: Zona de 10 mm: ±3σ: ≤±0,3 μm; Zona d'1 mm: ±3σ: ≤±0,5 μm; Zona de 0,1 mm: ±3σ: ≤±0,8 μm; |
Correlació R2 | Densitat superficial >99%; gruix >98%; |
Punt làser | 25 * 1400 μm |
Classe de protecció radiològica | Norma nacional de seguretat GB 18871-2002 (exempció de radiació) |
Vida útil dels productes radioactius font | Raigs β: 10,7 anys (vida mitjana de Kr85); Raigs X: > 5 anys |
Temps de resposta de mesurament | Densitat superficial < 1 ms; gruix < 0,1 ms; |
Potència total | <3 kW |
Escriu el teu missatge aquí i envia'ns-el