Mesurador de gruix i densitat areal integrat CDM

Aplicacions

Procés de recobriment: detecció en línia de petites característiques de l'elèctrode; petites característiques comunes de l'elèctrode: inanició de vacances (sense fuites del col·lector de corrent, petita diferència de gris amb l'àrea de recobriment normal, fallada d'identificació CCD), ratllades, contorn de gruix de l'àrea d'aprimament, detecció de gruix AT9, etc.


Detall del producte

Etiquetes de producte

Principis de mesura

图片 3

Principis de la mesura de la densitat superficial

Mètode d'absorció de raigs X/β

Principis de mesura de gruixos

Correlació i triangulació làser

Característiques de les proves tècniques del CDM

Escenari 1: Hi ha un espai lliure/defecte de 2 mm d'amplada a la superfície de l'elèctrode i una vora és més gruixuda (línia blava com es mostra a continuació). Quan el punt del raig és de 40 mm, l'impacte de la forma de les dades originals mesurades (línia taronja com es mostra a continuació) sembla evidentment més petit.

MDL

Escenari 2: dades de perfil de l'àrea d'aprimament dinàmic amb una amplada de dades de 0,1 mm

图片 6

Característiques del programari

图片 7

Paràmetres tècnics

Nom Índexs
Velocitat d'escaneig 0-18 m/min
Freqüència de mostreig Densitat superficial: 200 kHz; gruix: 50 kHz
Rang de mesura de densitat superficial Densitat superficial: 10~1000 g/m²; gruix: 0~3000 μm;
Repetició de mesures
precisió
Densitat superficial:
Integral de 16 s: ±2σ: ≤±valor veritable * 0,2‰ o ±0,06 g/m²;
±3σ:≤±valor veritable * 0,25‰ o +0,08 g/m²;
Integral de 4s: ±2σ: ≤±valor veritable * 0,4‰ o ±0,12 g/m²;
±3σ: ≤±valor veritable * 0,6‰ o ±0,18 g/m²;Gruix:
Zona de 10 mm: ±3σ: ≤±0,3 μm;
Zona d'1 mm: ±3σ: ≤±0,5 μm;
Zona de 0,1 mm: ±3σ: ≤±0,8 μm;
Correlació R2 Densitat superficial >99%; gruix >98%;
Punt làser 25 * 1400 μm
Classe de protecció radiològica Norma nacional de seguretat GB 18871-2002 (exempció de radiació)
Vida útil dels productes radioactius
font
Raigs β: 10,7 anys (vida mitjana de Kr85); Raigs X: > 5 anys
Temps de resposta de mesurament Densitat superficial < 1 ms; gruix < 0,1 ms;
Potència total <3 kW

  • Anterior:
  • Següent:

  • Escriu el teu missatge aquí i envia'ns-el